MACH-3A 653规格表
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项目
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型号
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MACH-3A 653
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测量范围
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X 轴
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600mm
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Y 轴
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500mm
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Z 轴
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280mm
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测量速度
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1 - 30mm/s (用于 TP7M)
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最大驱动速度
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各轴 8 - 700mm/s; 所有轴 1212mm/s
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最大驱动加速度
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各轴 6860mm/s2 ; 所有轴 11882mm/s2
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精度*
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19 - 21ºC
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MPEE = 2.5+3.5L/1000µm
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5 - 40ºC
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MPEE = 3.9+6.5L/1000µm
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* 使用TP7M (测针：ø4x20mm)。 L：测量长度(mm)。可确保精度的温度范围在5-40ºC以外时，请与三丰公司联系。
MACH-3A 653可确保精度的温度环境
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温度环境
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可确保精 度的温度 环境
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温度范围
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5 - 40ºC
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温度变化
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每小时2.0K以内
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每24小时10.0K以内
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温度梯度
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垂直1.0Km以下
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水平1.0K/m以下
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